매우 0100-20453

제품 매개 변수

통신 프로토콜 : Devicenet Industrial Bus Standard, 고속 데이터 전송 및 다중 노드 네트워킹을 지원합니다.

I/O 채널 구성 :

Digital input channel: supports 24V DC signal acquisition, photoelectric isolation protection, response time ≤1ms.

디지털 출력 채널 : 구동 용량 0.5A/채널, 최대 부하 전류 2A, 릴레이/솔레노이드 밸브 제어와 호환됩니다.

전기 특성 :

작동 전압 : 24V DC ± 10%

전력 소비 : ≤15W (전체 부하)

작동 온도 : -20 ° C ~ 70 ° C 

0100-20453의 특징

1. 산업 실시간 제어

AMAT 0100-20453은 Devicenet 프로토콜을 통한 마이크로 초 신호 동기화를 달성하여 웨이퍼 전송 로봇, 진공 밸브 및 기타 액추에이터의 동작을 정확하게 조정하여 공정 지연을 줄입니다.

2. 높은 신뢰성 중복 설계

보드에는 내장 된 이중 전원 분리 및 신호 필터링 회로가 있습니다. AMAT 0100-20453은 MTBF (실패 사이의 평균 시간) ≥ 50,000 시간과 함께 반도체 플랜트의 강력한 전자기 간섭 환경에서 안정적으로 작동 할 수 있습니다.

3. 유연한 확장 및 진단 기능

0100-20453은 최대 32 개의 I/O 노드와 호환되는 온라인 모듈 식 확장을 지원합니다. 내장 된자가 진단 칩은 과전류 및 단락 결함을 실시간으로보고하여 장비 유지 보수 가동 시간을 단축시킬 수 있습니다.

4. 프로세스 데이터의 깊은 통합

AMAT 0100-20453 AMAT CENTURA, ENDURA 및 기타 플랫폼의 중앙 제어 시스템에 직접 연결하여 에칭 챔버 압력 감지 및 가스 흐름 밸브 상태와 같은 데이터의 원활한 수집 및 폐 루프 제어를 달성합니다.

응용 프로그램 시나리오

에칭 프로세스 제어

플라즈마 에처에서 가스 주입 솔레노이드 밸브를 구동하고 챔버 압력 스위치 상태를 실시간으로 모니터링하여 반응 안정성을 보장합니다.

박막 증착 모니터링

웨이퍼 과열로 인한 고르지 않은 필름 층을 방지하기 위해 CVD 장비의 온도 센서 및 냉각수 밸브를 연결하십시오.

웨이퍼 전송 시스템

300mm 웨이퍼의 비파괴 적 핸들링을 달성하기 위해 로봇 암의 최종 효과의 클램핑 신호 제어