매우 0100-20004

입력 전압 : 100–240V AC

출력 전압 : 24V DC

통신 인터페이스 : 이더넷 (10/100Base-T), RS-485 (Baud Rate 9600–115200bps)

작동 온도 : -10 ~ 60 ℃

데이터 샘플링 속도 : 100Hz

보호 수준 : IP20

설치 방법 : 가이드 레일 또는 나사 고정

입력 범위 : -10V ~ +10V

디지털 채널 : 16 분리 된 입력/출력 (지원 TTL/CMOS 레벨)

프로토콜 지원 : Modbus TCP, DNET

기능적 특징

1. 다중 시스템 신호 라우팅 허브

AMAT 0100-20004는 코어 상호 연결 보드로서 고밀도 신호 라우팅 기능을 통합하여 챔버 컨트롤러, 센서 및 주 제어 장치 간의 원활한 데이터 상호 작용을 달성하고 배선 복잡성을 줄이며 응답 속도를 향상시킵니다.

2. 간섭 및 안정성 보장

트리플 전자기 차폐 Tec7hnology 및 분리 된 전원 공급 장치 설계는 AMAT 0100-20004가 고전압 무선 주파수 (RF) 환경에서 안정적으로 작동하고 신호 오류율이 0.001% 미만입니다.

3. 실시간 프로세스 모니터링 및 진단

0100-20004 내장 실시간 데이터 수집 엔진은 동적 모니터링 및 공정 매개 변수 (온도, 압력, 흐름)의 비정상적인 경보를 지원하여 AMAT 0100-20004가 예측 유지 보수를 달성하고 장비 다운 타임의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다.

4. 빠른 통합 및 호환성 최적화

Amat Centura 5200, Endura 5500 및 기타 플랫폼과 호환되는 표준화 된 인터페이스 및 플러그 앤 플레이 구성을 제공하여 장비 디버깅주기를 30% 이상 단축

응용 프로그램 시나리오

1. 이온 이식 과정

각도 제어 및 선량 교정을 달성하기 위해 VIISTA 3000XP/900XP 이온 임플란터의 챔버 신호 통합에 사용

2. 박막 증착 장비

필름 균일 성을 보장하기 위해 Centura CVD/PVD 시스템의 경로 가스 흐름, RF 전력 및 온도 신호

3. 진공 시스템 제어

진공 게이지, 분자 펌프 및 냉각 장치를 연결하여 진공 정도 및 누출 경보를 실시간으로 모니터링하십시오 (예 : 엔듀라 플랫폼)

4. 웨이퍼 전송 자동화

로봇 암 (예 : 페치 암) 및 웨이퍼 포지셔닝 시스템을 구동하여 전송 정확도와 처리량 효율성을 향상시킵니다.