브랜드 : Amat설명 : 반도체 보드 카드조건 : 새로운 브랜드인증서 : COO 테스트 보고서 보증서보증 : 1 년재고 수량 : 9지불 기간 : T/T배송 항구 : Shenzhen반도체 보드 카드로서 AMAT 0100-77040은 고속 전송 중 웨이퍼의 위치 정확도를 보장하고 폐 루프 공기 압력 동적 조정 및 밀리 초 레벨 신호 응답을 통한 진공 밀봉의 신뢰성을 보장합니다.
| 제조 |
매우 |
| 모델 번호 |
0100-77040 |
| 원산지 국가 |
미국 |
| HS 코드 |
85389000 |
| 차원 |
12*12*2cm |
| 포장 치수 |
14*14*4cm |
| 무게 |
0.5kg |
기술 매개 변수
입력 전압 : 100–240V AC
통신 인터페이스 : 이더넷, RS-485 (
작동 온도 범위 : -10 ℃ ~ +60 ℃
보호 수준 : IP20
응답 시간 : ≤5ms
호환 공압 압력 : 0.5–1.0mpa
기계 수명 : ≥1 백만주기
기능적 특징
1. 고정밀 공압 드라이브 제어
AMAT 0100-77040은 폐쇄 루프 피드백 기술을 사용하여 공압 밸브의 개구부 및 마감 정도 및 압력 출력을 실시간으로 조정하여 웨이퍼 전달 로봇 암 및 챔버 씰과 같은 액추에이터의 밀리미터 수준 정확도를 보장하고 웨이퍼 손상의 위험을 줄입니다.
2. 멀티 프로토콜 산업 통신 통합
0100-77040은 Amat Centura, Endura 및 기타 플랫폼의 주요 제어 시스템으로 이더넷, RS-485 및 Devicenet 프로토콜을 지원합니다. AMAT 0100-77040 장비 상태 데이터를 중앙 모니터링 장치에 동기식으로 전송하여 전체 기계의 자동화 수준을 개선 할 수 있습니다.
3. 반 간 회의 및 결함 자기 진단
내장 된 전자기 차폐 회로 및 중복 회로 설계는 무선 주파수 간섭 (RFI) 및 전원 공급 장치 변동에 효과적으로 저항 할 수 있습니다. 실시간 오류 감지 기능이있어 사운드 및 조명 경보를 유발할 수 있으며 비정상적인 경우 오류 코드를 기록하여 유지 보수주기를 단축시킬 수 있습니다.
4 모듈 식 빠른 배포
AMAT 0100-77040 AMAT P5000 및 VIISTA 이온 임플란트 플랫폼과 같은 헤드 공압 장치와 호환되는 표준화 된 카드 슬롯 설치 구조를 채택하며 핫 스웨이 교체를 지원하며 장비 다운 타임을 크게 줄입니다.
응용 프로그램 시나리오
웨이퍼 전송 시스템 : 로봇 암의 공압 그리퍼를 구동하여 진공 챔버와 하중 잠금 장치 (예 : PVD/CVD 장비) 사이의 고속 웨이퍼 전달을 달성합니다.
프로세스 챔버 밀봉 제어 : 게이트 밸브 (슬릿 밸브)를 조정하여 에칭/증착 챔버의 진공 분리 상태를 유지합니다.
