매우 0100-35054

기술 매개 변수

인터페이스 유형 : VME 버스 호환성은 16 비트 병렬 데이터 전송을 지원합니다.

작동 전압 : 24V DC ± 5%, 최대 전류 부하 2A.

작동 온도 : -10 ° C ~ 70 ° C.

보호 수준 : IP20.

신호 응답 시간 : ≤5ms, 인터록의 빠른 트리거링 보장

기능적 특징

1. 강화 안전 보호 :

AMAT 0100-35054는 여러 센서 입력 채널을 통합하여 챔버 압력, 가스 흐름 및 온도 매개 변수를 동기화 할 수 있습니다. 과도한 제한 값이 감지되면 전원 공급 장치가 즉시 차단되고 위험의 원인이 장비 및 운영자의 안전을 보장하기 위해 분리됩니다.

2. 시스템 호환성 최적화 :

0100-35054는 Amat Endura, Centura 및 기타 일련의 물리 증기 증착 (PVD) 및 CVD (Chemical Vapor Deposition) 장비의 제어 시스템과 호환됩니다. 추가 드라이버의 필요없이 플러그 앤 플레이 구성을 지원합니다.

3. 높은 안정성 및 반 간섭 :

AMAT 0100-35054는 중복 회로 설계 및 전자기 차폐 코팅을 채택하여 고전압 RF 환경 (예 : ICP 에칭)에서 신호 전송의 오 탐지 경보를 유지할 수 있으며 실패율은 0.01%미만입니다.

4. 관리 가능성 및 진단 기능 :

온보드 LED 상태 표시기 및 진단 인터페이스는 원격 오류 코드 읽기를 지원합니다. 유지 보수 직원은 Amat의 전용 소프트웨어 (예 : Applied Producer®)를 통해 문제 부품을 빠르게 찾아 가동 시간을 단축 할 수 있습니다.

응용 프로그램 시나리오

플라즈마 에칭 과정 :

3D NAND 메모리의 높은 종횡비 에칭에서, 부산물 축적으로 인한 아크 배출을 방지하기 위해 챔버 압력의 실시간 모니터링이 수행됩니다.

금속 필름 증착 :

구리 상호 연결 공정 (예 : Endura Alps PVD)의 경우 스퍼터링 중에 가스 누출이 감지되어 필름 오염을 피합니다.

챔버 청소 과정 :

CVD 장비의 유지 보수주기 동안, 잔류 물이 완전히 제거되도록 NF₃ 플라즈마 청소의 자동 시작 및 정지가 트리거됩니다.